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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):納米劃痕測(cè)試儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):NST3
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:CSM
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簡(jiǎn)單介紹:
上海鑄金分析儀器有限公司為您展示的納米劃痕測(cè)試儀NST3是一款原裝進(jìn)口劃痕測(cè)試儀。納米劃痕儀專(zhuān)門(mén)用于表征厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂層的結(jié)合力。納米劃痕測(cè)試儀可用于分析有機(jī)的和無(wú)機(jī)的以及軟的和硬的薄膜。
詳情介紹:

納米劃痕測(cè)試儀 (NST3)

儀器簡(jiǎn)介:

市場(chǎng)上精 確的納米劃痕測(cè)試儀

納米劃痕測(cè)試儀專(zhuān)門(mén)用于表征厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂層的結(jié)合力。納米劃痕測(cè)試儀可用于分析有機(jī)的和無(wú)機(jī)的以及軟的和硬的薄膜。如:薄的和多層的 PVD、CVD、PECVD、光刻膠、油漆、涂料和其他各種薄膜。NST3 涵蓋光學(xué)、微電子、防護(hù)、裝飾等 應(yīng)用領(lǐng)域。基體可以是硬的或軟的,包括合金、半導(dǎo)體、玻璃、可折射的和有機(jī)材料。

主要特點(diǎn):

施加較小的載荷時(shí)具有*快的響應(yīng)速度

納米劃痕測(cè)試儀帶有載荷傳感器,采用雙懸臂梁用于施加載荷,以及壓電式驅(qū)動(dòng)器用于對(duì)施加的載荷快速響應(yīng)。這一設(shè)計(jì)理念還修正了在劃痕過(guò)程中發(fā)生的任何事件(例如出現(xiàn)裂紋和失效、缺陷或樣品不平整)而導(dǎo)致的測(cè)量結(jié)果偏差。

適用于彈性恢復(fù)研究的磚利真實(shí)劃痕位移測(cè)量

在劃痕之前、過(guò)程和之后,位移傳感器 (Dz) 一直記錄樣品的表面的輪廓。這讓您可以在劃痕過(guò)程中或之后評(píng)估針尖的位移量,從而可以評(píng)估材料的彈性、塑性和粘彈性能(磚利:US 6520004

不打折扣:施加任何微牛級(jí)的載荷

閉環(huán)主動(dòng)力反饋系統(tǒng)可在 1 μN 以下進(jìn)行更精 確的納米劃痕測(cè)試。納米劃痕測(cè)試儀包含一個(gè) 傳感器測(cè)量載荷,可以直接反饋給法向載荷驅(qū)動(dòng)器。這**施加的載荷就是用戶(hù)設(shè)置的載荷。

***光學(xué)成像帶“跟蹤聚焦”功能

集成顯微鏡包括配置***物鏡的轉(zhuǎn)塔和 USB 照相機(jī)。劃痕成像時(shí),能輕松將放大倍數(shù)從 x200 轉(zhuǎn)換為 x4000,實(shí)現(xiàn)在低放大倍數(shù)和高放大倍數(shù)自由切換從而更好地對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估?!案櫨劢埂惫δ芸梢赃M(jìn)行將多個(gè)劃痕的 Z 樣品臺(tái)自動(dòng)聚焦到正確位置。

劃痕后可用多次后掃描模式評(píng)估彈性性能

劃痕后,您可以在軟件中用時(shí)間增量定義無(wú)限次后掃描測(cè)量殘余位移。這種全新的分析方法將讓您進(jìn)一步了解表面變形性能與時(shí)間的依賴(lài)關(guān)系。

典型應(yīng)用:

¨聚合物:薄膜和/或表面特性表征(耐磨損性)

¨薄膜聚合物基體氧化物涂層

¨*納米金剛石 (UNCD) 薄膜的機(jī)械性能

¨硬質(zhì)涂層(PVD、CVD 涂層):厚度小于 1 微米

¨晶圓:厚度范圍為 10 nm 500 nm

¨光學(xué)和玻璃:薄膜和/或表面特性表征(耐劃擦性)

¨涂層表面的物理特性分析

技術(shù)指標(biāo):

施加的載荷

分辨率

0.01 μN(yùn)

*大載荷

1000 mN

本底噪音

0.1 [rms] [μN(yùn)]*

摩擦力

分辨率

0.3 μN(yùn)

*大摩擦力

1000 mN

位移

分辨率

0.3 nm

*大位移

600 μm

本底噪音

1.5 [rms] [nm]*

速度

速度

0.4 mm/min 600 mm/min

***實(shí)驗(yàn)室條件下規(guī)定的本底噪音值,并使用減震臺(tái)。

 

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